ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОЗРАЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ
А.Г. Плеханов, Н.И. Файнер, Ю.М. Румянцев, И.В. Юшина, М.И. Рахманова
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
plehanov@niic.nsc.ru
Ключевые слова: оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, рентгенофазовый анализ с использованием синхротронного излучения, оптические, электрофизические и люминесцентные свойства, silicon oxycarbonitride, nanocomposite films, 1,1,3,3-tetramethyldisilazane, powder X-ray diffraction analysis with synchrotron radiation, optical, electrophysical, and luminescent properties
Страницы: 1271-1278
Аннотация
Полученные плазмохимическим осаждением из газовой смеси 1,1,3,3-тетраметилдисилазана с кислородом и азотом (ТМДС+O2+ x N2) в температурном интервале 373-973 K пленки гидрогенизированного SiC x N y O z :H являются нанокомпозитными, в аморфной части которых распределены нанокристаллы, принадлежащие фазам системы Si-C-N: a-Si3- xC x N4 и графита. Изменение химического состава газовых смесей приводит к получению пленок SiC x N y O z :H с большим интервалом изменения функциональных свойств, таких как: вариация показателя преломления 1,45-2,15; регулируемая прозрачность ( T ~ 92-99,7 %) в УФ, видимой и ИК областях спектра; "перестраиваемые" характеристики ширины запрещенной зоны (3,5-5,4 эВ) и значения диэлектрической постоянной 5,2-5,8.
DOI: 10.15372/JSC20160622 |
