ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЬЕЗООПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДЛЯ ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ДЕФОРМАЦИИ
А.Г. Паулиш1, П.С. Загубисало1, В.Н. Бараков2, М.А. Павлов2
1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
paulish63@ngs.ru
2ООО «Фирма ПОДИЙ», 107084, Москва, ул. Мясницкая, 47
drakosha07@bk.ru
Ключевые слова: измерение деформации, датчики деформации, пьезооптический преобразователь, метод фотоупругости, оптические методы исследования напряжённых состояний, strain measurement, strain gauges, piezooptic transducer, photoelasticity method, optical methods for studying stress states
Страницы: 78-84
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Исследованы характеристики пьезооптического преобразователя новой конструкции, обладающего при малых габаритах высокой чувствительностью к деформации. Благодаря оригинальной форме фотоупругого элемента удалось при заданной внешней силе существенно увеличить напряжение в его рабочей области, тем самым повысив чувствительность преобразователя. С помощью специально созданного устройства измерены основные характеристики преобразователя. Созданная его математическая модель позволила рассчитать величину деформации при заданной приложенной силе. В итоге чувствительность к относительной деформации составила Δx/x = 3 x 10-10, динамический диапазон более четырёх порядков, а коэффициент тензочувствительности на три порядка выше, чем для тензорезисторных датчиков деформации.
DOI: 10.15372/AUT20180209 |
