Главная – Журналы – Автометрия 2023 номер 6

В условиях сверхвысокого вакуума тремя методами (твердофазной эпитаксией, реактивной эпитаксией и молекулярно-лучевой эпитаксией) выращены эпитаксиальные и поликристаллические плёнки силицидов железа (Fe), хрома (Cr) и кальция (Ca) различной толщины (от 3,2 до 380 нм) на кремниевой и сапфировой подложках. Методом рентгеновской дифракции для них определены кристаллическая структура и сопряжение с решёткой кремния. Сравнительный анализ спектров комбинационного рассеяния света (КРС) и спектров дальней ИК-спектроскопии показал, что максимальной интенсивностью пиков КРС обладают плёнки полупроводниковых силицидов, а обнаруженные сдвиги их положений вызваны искажениями в решётках силицидов. Установлено, что в плёнках моносилицидов железа и хрома при фиксированной длине волны лазерного возбуждения ( λ = 628,3 нм) и мощности 3,4 мВт интенсивность пиков КРС падает с уменьшением толщины плёнки, что приводит к их полному исчезновению при толщине ниже 10 нм. На монокристаллическом сапфире выращены плёнки трисилицида хрома, что позволило впервые обнаружить для него при λ = 488 нм и мощности 0,42 мВт активные фононы КРС в волновых числах 214,3 и 273,1 см^-1. Исследованные плёнки моносилицидов переходных металлов представляют значительный интерес с точки зрения перспектив их использования в качестве материалов для термоэлектроники и спинтроники, а систематизированная информация об активных фононах КРС и ИК-активных фононах позволит оперативно определять тип сформированной фазы сразу после роста плёнок.